Dòng VEGA được thiết kế liên quan đến một loạt các ứng dụng về nhu cầu nghiên cứu và ngành công nghiệp ngày nay với SEM . Sau 10 năm liên tục phát triển dòng VEGA hãng Tescan mới cho ra thế hệ thứ 3. Thế hệ mới này cung cấp cho người sử dụng với những lợi thế của công nghệ mới nhất , chẳng hạn như cải thiện thiết bị điện tử mới hiệu suất cao để mang lại hình ảnh nhanh hơn , một hệ thống quét cực nhanh với bù cho quang sai hình ảnh tĩnh và động hoặc được xây dựng trong quá trình cho người dùng định nghĩa các ứng dụng , trong khi vẫn duy trì tỷ lệ giá thành trên năng suất tốt nhất
Độ phân giải hình ảnh cao với LaB6 EmitterTESCAN cung cấp LaB6 - lantan hexaboride - Nguồn điện tử như một lựa chọn , có thể được phân loại như là một nơi nào đó ở giữa bộ phát Schottky và vonfram dây tóc nóng. Lợi ích của LaB6 là một nguồn điện tử phát ra tương đối ổn định so với các FE SEM , cung cấp dòng cao hơn ở nhiệt độ âm cực thấp hơn so với phát vonfram . Điều này có nghĩa là độ sáng cao hơn, độ phân giải được cải thiện một cách hợp lý trên phạm vi toàn bộ điện áp tăng tốc và một đời âm cực lâu hơn. Do sự phát xạ cao hơn hiện tại , các LaB6 phát là sự lựa chọn thích hợp cho các ứng dụng phân tích nơi dòng tia lớn là cần thiết.
Quang học hiện đại
Bốn ống kính Wide Field Quang ™ thiết kế cung cấp một loạt các hoạt động và hiển thị các chế độ.
Trung cấp ống kính độc quyền ( IML ) làm việc như một sự thay đổi " khẩu độ thay đổi cuộc " khẩu độ thức hiệu quả điện từ trường.
Việc sử dụng các vật liệu cao cấp cho các ống kính và cuộn dây cho phép một tỷ lệ hình ảnh cực kỳ nhanh chóng xuống 20 ns / pixel với giảm thiểu tác động biến dạng năng động .
Mới được thực hiện trên máy bay tia Tracing ™ cho độ chính xác cao tính toán thời gian thực của các thông số quang học .
Thiết kế cột mà không có bất kỳ yếu tố tập trung cơ khí cho phép cột hoàn toàn tự động thiết lập và liên kết .
Hình ảnh lập thể độc đáo trực tiếp sử dụng công nghệ tia 3D tiên tiến mở ra vi mô và nano thế giới cho một trải nghiệm 3D tuyệt vời và chuyển hướng 3D .
Bảo trì nhanh chóng Giữ cho kính hiển vi trong tình trạng cao điểm là bây giờ dễ dàng và đòi hỏi tối thiểu của kính hiển vi thời gian chết. Mọi chi tiết đã được thiết kế cẩn thận để tối đa hóa hiệu suất kính hiển vi và giảm thiểu công sức điều hành .
Thủ tục tự độngNóng dây tóc và liên kết của các khẩu súng để thực hiện chùm tia tối ưu được thực hiện tự động chỉ với một cú nhấp chuột . Có rất nhiều các thủ tục khác mà làm giảm điều chỉnh-up thời gian của nhà điều hành đáng kể , cho phép chuyển hướng tay máy tự động và phân tích tự động. Được xây dựng trong ngôn ngữ kịch bản (Python ) cho phép truy cập vào hầu hết các tính năng phần mềm , bao gồm cả kiểm soát hoàn toàn kính hiển vi, kiểm soát sân khấu, thu nhận hình ảnh , xử lý và phân tích. Kịch bản cho phép người sử dụng để xác định các thủ tục tự động của riêng mình.
Phần mềm dễ sử dụng thân thiện và công cụ phần mềm
Môi trường đa người dùng được bản địa hoá trong nhiều ngôn ngữ.
Bốn cấp độ của người sử dụng chuyên môn / quyền , bao gồm một chế độ Easy SEM TM cho cuộc điều tra thường xuyên nhanh chóng
Quản lý hình ảnh và báo cáo sáng tạo
Được xây dựng trong tự chẩn đoán để kiểm tra sự sẵn sàng hệ thống
Mạng lưới hoạt động và truy cập từ xa / chẩn đoán
Kiến trúc phần mềm mô-đun cho phép nhiều phần mở rộng được đính kèm.
Thiết lập cơ bản của các plug-in , chẳng hạn như đo lường , xử lý hình ảnh , đối tượng Diện tích, có sẵn như là tiêu chuẩn
Một số module tùy chọn hoặc các ứng dụng chuyên dụng tối ưu hóa cho các thủ tục kiểm tra mẫu tự động , chẳng hạn như hình thái học và phân tích hạt hoặc xây dựng lại bề mặt 3D,VEGA3 SB
Một máy tính hoàn toàn kiểm soát SEM với thông thường vonfram âm cực nóng dành cho cả hai chân không cao cũng như cho các hoạt động chân không thấp .
VEGA3 SB - EasyProbeCác VEGA3 SBU - EasyProbe là một kính hiển vi điện tử quét nhỏ gọn (SEM) tích hợp đầy đủ với một phân tán năng lượng được lựa chọn X-quang microanalyser ( điện cơ ) . Chất lượng hình ảnh cao , mức độ tự động hóa cao , sử dụng dễ dàng và nhanh chóng kết quả định lượng nguyên tố trực tiếp trong các hình ảnh trực tiếp là một trong những tính năng đặc trưng của thiết bị.
VEGA3 LMMột máy tính hoàn toàn kiểm soát SEM với thông thường vonfram âm cực nóng dành cho cả hai - chân không cao cũng như cho các hoạt động chân không thấp .
VEGA3 XMMột máy tính hoàn toàn kiểm soát SEM với thông thường vonfram âm cực nóng dành cho cả hai chân không cao cũng như cho các hoạt động chân không thấp .
