SEM là kính hiển vi điện tử quét tích hợp hệ thống đầu dò phân tích phổ tán xạ năng lượng tia X, hoạt động trong cả các chế độ chân không cao – thấp – trung bình. Nghiên cứu được trên mẫu dẫn điện, và mẫu không dẫn điện có thể được quét ở trạng thái tự nhiên mà không cần phủ thêm lớp trung gian lên mẫu. Chất lượng hình ảnh cao, độ phóng đại lên đến 1 triệu lần, khả năng tự động cao, dễ dàng sử dụng, phân tích hàm lượng nguyên tố trực tiếp ngay trên ảnh quét một cách nhanh chóng.
Thông số kỹ thuật của kính hiển vi điện tử quét
VEGA 3 SBU - EasyProbe
(Buồng nhỏ, sàn cơ giới hóa, tích hợp EDX, nhiều
mức chân không hoạt động)
The VEGA 3 SB –
EasyProbe là dòng kính kiển vi điện tử quét nhỏ gọn tích hợp đầy đủ với lựa
chọn máy vi phân tích X-Ray phân tán (EDS). Chất lượng thu ảnh cao cấp, mức độ
tự động cao, dễ dàng sử dụng và cho kết quả định lượng nguyên tố nhanh chóng từ
hình ảnh trực tiếp là các tính chất đặc điểm của thiết bị này. Một hệ thống
nhiều mức chân không cho phép khảo sát mẫu không dẫn trong trạng thái không phủ
tự tiên của nó.
Các tính năng quan trọng:
§
Công nghệ
độc quyền 4 thấu kính Wide Field
Opticals™ thiết kế cung cấp nhiều chế độ làm việc và hiển thị khác nhau bao
gồm hệ thống thu nhận hình ảnh lập thể trực tiếp độc quyền.
§
Hệ thấu
kính trung gian (IML) hoạt động như là "aperture changer" tạo sự thay
đổi lên khẩu độ điện từ cuối cùng.
§
Công nghệ In-Flight
Beam Tracing™ thời gian thực cho hiệu suất cao và tối ưu chùm tia tích hợp tốt
cùng phần mềm Electron Optical Design.
§
Xây dựng
cột, không có bất kỳ thành phần cơ khí trung tâm, cho phép canh chỉnh và thiết
lập cột hoàn toàn tự động.
§
Nhanh
chóng và dễ dàng thu được buồng chân không sạch bởi bơm chân không lực quay và
turbomolecular mạnh mẽ.
§
Tốc độ thu
nhận ảnh nhanh do sử dụng các đầu dò YAG-based lớp thứ nhất.
§
Tích hợp
đầy đủ máy vi phân tích (EDS) cho phân tích định lượng các nguyên tố tự động.
§
Giao diện
phần mềm EasySEM nguyên bản với hộp công cụ một – chạm (One – Touch EDX).
§
Môi trường
đa người dùng hỗ trợ nhiều ngôn ngữ.
§
Tích hợp
sẵn trình quản lý ảnh và tạo báo cáo.
§
Network
operations và tích hợp sẳn truy cập từ xa/ chuẩn đoán.
§
Các modun
phần mềm mở rộng cho đo lường, phân tích và xử lý ảnh.
Thông số kỹ thuật của SEM:
Hệ quang học – điện tử:
Độ
phân giãi ở chế độ chân không cao (SE): 3 nm ở 30 kV
8
nm ở 3 kV
Độ
phân giãi ở chân không thấp (BSE): 3.5 nm ở 30 kV
Độ phóng đại: 4.5X – 1,000,000X (cho chiều rộng ảnh 5’’ ở Continual Wide Field – chế
độ phân giãi)
Thế gia tốc: 200
V đến 30 kV
Súng
điện tử: Cathode vonfram đốt
nóng
Dòng dò: 1
pA đến 2 µA
Các chế độ làm việc hệ quang học
điện tử:
Độ phân giãi: Chế độ độ phân giãi cao.
Độ sâu: thiết lập cột ở chế dộ tăng
cường độ sâu hội tụ.
Thị thường: Tối ưu hóa cột để cung cấp
thị trường không bị biến dạng lớn nhất.
Độ rộng thị trường: Cung cấp một thị trường không biến dạng cực
lớn cho hình ảnh phóng đại cực thấp.
Định hướng điện tử: chế độ làm việc cho đánh giá dữ liệu định
hướng tinh thể của mẫu, đòi hỏi nền định hướng điện tử - electron channelling
pattern (ECP).
Các chế độ ở độ phân giãi thấp chỉ
chòn chế độ phân giãi và độ sâu.
Quét:
Tốc độ quét: Từ 20 ns đến10 ms trên
pixel điều chỉnh từng bước hoặc liên tục
Các chức năng quét:
Quét
điểm hoặc quét dòng
Cửa
sổ hội tụ – hình dạng, kích thước và vị trí có thể điều chỉnh liên tục
Dynamic
Focus – trong mặt phẳng nghiêng lên đến ±70 deg
Xoay
ảnh, dịch chuyển ảnh, bù nghiêng.
3D
Beam – định độ nghiêng của trục quét quanh trục XY
Hình
ảnh lập thể sống động.
Hệ thống chân không:
Chân không cột: < 9×10-3 Pa*
Chân không buồng:
Chế độ chân
không cao: 9×10-3 Pa *
Chế độ chân
không trung bình: 3 – 150 Pa
Chế độ chân
không thấp: 3 – 500 Pa
Thời gian bơm sau khi thay đổi
mẫu: Đặc thù < 3 phút
* - Áp suất đạt < 5x10-4
Pa, tùy chọn chân không gauge là cần thiết (theo yêu cầu).
Buồng và sàn mẫu:
Buồng: Đường
kính trong: 160 mm
Số
cổng: 10
Chiều
rộng cửa:120 mm
Chamber and Column Suspension:
Cơ khí –
tạo bởi các thành phần bằng chất dẽo
Thời gian bơm: đặc thù < 3 phút
Sàn mẫu:
Kiểu: eucentric
Dịch chuyển: 3 trục cơ giới hóa
X
= 45 mm – cơ giới hóa*
Y
= 45 mm – cơ giới hóa*
Xoay:
liên tục 360° – cơ giới hóa*
Z
= 27 mm – thủ công
Nghiêng:
–90° đến +90° – thủ công
* – các dịch chuyển là tương đối, và không
thông báo (đọc) vị trí ra.
Độ
cao mẫu tối đa: 36 mm
Ghi
chú: Phạm vi dịch chuyển có thể phụ thuộc vào WD và cấu hình.
Đầu dò:
Tiêu chuẩn: SE
– Đầu dò electron thứ cấp loại Everhart-Thornley (YAG Crystal)
Retractable BSE – loại phát xạ (scintillator)
hình khuyên có thể tháo lắp (YAG Crystal) với độ nhạy cao và độ phân giãi số
(number) nguyên tử (0.1)
EasyEDS* –- WD 15 mm, góc nâng 35°
Probe
Current Measurement
Cảm biến chạm – ngừng dịch chuyển khi mẫu chạm bất kỳ bộ
phận nào của buồng
*
– tích hợp đầy đủ sản phẩm của hãng thứ 3
Tùy chọn:
IR TV – Camera quan sát trực tiếp buồng mẫu.
Phụ kiện tùy chọn:
Bảng
điều khiển – bảng thiết lập núm điều chỉnh đa mục đích với cần điều hướng sàn.
Thông số kỹ thuật của EasyEDS
Độ
phân giãi năng lượng:133 eV (Mn Kα) tại 100,000 cps
Kiểu
đầu dò: XFlash™ Detector 410 M, diện tích tác động 10 mm2
Cửa
sổ dò: SLEW, phát hiện từ B (5) đến Am (95)
Làm
mát đầu dò: Peltier couple (không đòi hỏi nitơ lỏng)
Max.
Input Countrate: 150 kcps
Định
lượng: standardless PB-ZAF
Các
chức năng của EasyEDX: thu nhận và phân tích phổ, định lượng theo dòng và lập
bản đồ định lượng.
Hệ thống điều khiển kính hiển
vi:
Giao diện điều khiển của EasySEM
đặc ở chế độ dễ sử dụng của phần mềm điều khiển SEM chính. Nó được tối ưu cho
màn hình cảm ứng. EasySEM cho phép tất cả các chức năng thu nhận ảnh cơ bản và
hộp công cụ một chạm One-Touch EDX, cả hai là sự hổ trợ tuyệt vời của nền tảng
tự động.
Khi công cụ One-Touch EDX được
bật, hệ thống tự động trả về kết quả phân tích định lượng thành phần nguyên tố
của diện tích được chỉ ra trên hình ảnh SEM trực tiếp.
Hệ thống cho phép điều khiển
kính hiển vi nâng cao với 3 mức trình độ người dùng. Điều khiển bằng bàn phím,
chuột và bi lăn hoặc là tùy chọn bởi bảng điều khiển có sẳn trong phần mềm điều
khiển VegaTC chạy trên nền Windows.
Máy tính: Intel® Core
i3-530 2.93GHz, 2048MB DDRII 667MHz, HDD 320 GB, DVD-RW DL, On-board Gigabit
Network Card, ATI Radeon HD4650 1GB, Mouse Logitech RX250 optical, + Windows 7
Ultimate 32-bit.
Nhà sản xuất có quyền thay đổi cấu hình máy tính tùy thuộc vào biến động
của thị trường máy tính.
Hiển thị hình ảnh: Màn
hình cảm ứng LCD 19”
Kích thước ảnh: Lên đến
8,192 x 8,192 pixel, điều chỉnh riêng cho hình ảnh trực tiếp (trong 3 bước) và
lưu trữ ảnh (10 bước), có thể chọn vuông hoặc chử nhật 4:3 hoặc 2:1
Các định dạng ảnh: BMP,
TIFF, JPEG, JPEG2000, GIF, PNG hoặc PGM, PPM
Độ sâu màu ảnh: Lên đến
16 bits trên mỗi kênh
Điều khiển từ xa: Qua
giao thức TCP/IP, giao thức mở
Các xử lý tự động:
Tối ưu chùm tia công
nghệ In-Flight Beam Tracing™
BI OptiMag (Tối
ưu kích thước điểm cho phóng đại)
WD (Focus) &
Stigmator
Độ tương phản và
độ phân giãi
Tốc độ quét (theo
tính hiệu – tỉ lệ nhiễu)
Đốt nóng súng
Cân chỉnh súng
Cân chỉnh cột
Điều khiển chân
không
Bù thế cho kV
Tìm kiếm bàn
Tự động chuẩn
đoán
Phần mềm mở rộng:
Tiêu chuẩn:
Đo lường
Xử lý hình ảnh
Quét 3 chiều
Độ chân không
Multi Image Calibrator
Object Area
Định thời gian tắt
Tolerance
Phần mềm EasyEDX tích hợp
Kịch bản
Các tùy chọn:
Morphology
Quan sát mẫu
MouseLink
Kích thước thiết bị (đơn vị
mm):
* hộp giảm thanh là tùy chọn
Các
yêu cầu cài đặt thiết bị:
Nguồn: 230V ±
10%/50 Hz (hoặc 120V/60 Hz –tùy chọn), 1300VA
Không
cần nước làm lạnh
Compressed
nitrogen for venting (khuyên dùng): 150 – 500 kPa (1.5 – 5 Bars)
Kích
thước hệ thống: 1.665 m x
0.967 m x 1.424 m
Kích
thước phòng: tối thiểu
2.5 m x 2.5 m, chiều rộng cửa tối thiểu 0.90 m
Yêu
cầu môi trường:
Nhiệt
độ môi trường: 17 – 28 °C
Độ ẩm
tương đối: < 80 %
Phông
từ trường: Đồng bộ <
3 x 10-7 T;
Không
đồng bộ < 1 x 10-7 T
Yêu cầu về độ rung:
< 4 µm/s dưới 30 Hz
< 8 µm/s trên 30 Hz
