Bơm hút chân không - Vacuum pump

Chuyên cung cấp, lắp đặt và sửa chữa bơm hút chân không

Cung cấp bơm hút chân không cho các phòng thí nghiệm, các dây truyền sản xuất, các hệ máy đóng gói chân không, máy phủ màng, hệ SEM, TEM, sắc ký khí, ....

Cung cấp bơm hút chân không có công suất nhỏ 1 m3/h  tới công suất lớn nhất 6500 m3/h.

Cung cấp từ bơm hút chân không đơn lẻ tới các hệ bơm tích hợp phức tạp từ hai bơm trờ lên nhằm đáp ứng công xuất và áp suất chân không sâu với các yêu cầu đặc biệt cho các hệ máy cần áp xuất chân không xuống tới 10-7, 10-9 mpa

      

I. Giới Thiệu

-          Công ty Ernst Leybold thành lập năm 1850 tại Cologne và Công ty Wilhelm Carl thành lập 1851 tại Hanau tại Đức là hai công ty độc lập. Sau đó hợp lại và trở thành một công ty công nghệ cao Leybold.

-          Leybold có 4 nhà máy sản xuất chính đặt tại Cologne – Đức, Mỹ, Trung Quốc, và Valence – Pháp.

-          Leybold có mạng lưới phân phối và bảo trì rộng khắp trên toàn cầu trong đó có 17 công ty bán hàng tại các nước khác nhau, 30 trung tâm sửa chữa và văn phòng đại diện trên 70 nước.

-          Leybold có line hàng trong tất cả các nghành công nghiệp có sử dụng công nghệ chân không.

II. Các Sản Phẩm Ứng dụng trong các nghành

-          Công nghệ sản xuất chế tạo bán dẫn

-          Phủ màng chân không

-          Phát triển và nghiên cứu

-          Truyền dẫn

-          Công nghệ Hóa / Dược

-          Công nghệ chế tạo bong đèn

-          Công nghiệp xe hơi

-          Công nghệ laser

-          Công nghệ đóng gói

-          Mô phỏng không gian

-          Công nghệ phân tích

-          Công nghệ môi trường

-          Công nghệ lạnh, máy điều hòa không khí

-          Công nghệ điện

-          Công nghệ chế tạo máy

III. Các Sản Phẩm Hãng Sản Xuất

A. Các dòng máy:

-          Bơm cánh gạt

-          Bơm nén khô

-          Bơm cuộn

-          Bơm trục tổng hợp

-          Bơm phủ màng

-          Bơm khuyếch tán dầu

-          Hệ thống bơm

-          Hệ thống bơm tua bin phân tử

-          Bơm tua bin phân tử từ tính

-          Hệ thống hiệu chuẩn

-          Các loại van chân không

-          Các linh kiện chân không cao áp

-          Các máy đo áp suất

-          Các thiết bị kiểm tra độ rò rỉ

-          Hệ thống làm mát

-          Hệ thống chân không cao áp

B. Các model:

1. TRIVAC ; Bơm cánh gạt; 1.5 – 65 m3/h, kín bằng dầu

a. S 1.5 , một cấp

Nguyên lý hoạt động:

- S1.5 là bơm một cấp, đóng kín bằng dầu. Bơm cánh gạt với van khí Ballast, bơm được điều khiển bằng một động cơ xoay chiều. Trục của cái bơm và cái trục của động cơ được liên kết bằng khớp nối giữa.

Ứng dụng

-  Trong tất cả các vùng của chân không áp suất được lấy vào thấp

-  Sự làm chân không của các mạch làm lạnh

-  Đối với sự hút, ứng suất, áp lực đẩy

-  Lắp đặt trong các thiết bị di động.

b. TRIVAC E, Hai cấp, kín bằng dầu

Nguyên lý hoạt động:

-  Bơm TRIVAC E là một bơm chân không kín bằng dầu vận hành theo nguyên lý cánh quạt, dầu được đưa vào buồng bơm, được sử dụng làm kín, bôi trơn và làm mát

Ứng dụng:

-    Khối phổ

-    Kính hiển vi điện tử

-    Làm tiệt trùng

-    Các hệ thống đông khô

-    Các phòng nghiên cứu và hóa chất

-    Đèn hình ti vi

-    Công nghệ chân không nguồn

-    Các hệ thống bơm cao áp

c. TRIVAC B, hai cấp

Ứng dụng:

-    Công công nghiệp tự động

2.    SOGEVAC;  Bơm cánh gạt , một cấp, kín bằng dâu; 10 – 1200 m3/h

Nguyên lý hoạt động:

- Các bơm SOGEVAC là các bơm chân không cánh gạt kín bằng dầu. dầu được bơm vào buồng bơn để làm kín, bôi trơn và làm lạnh bơm là theo chu kỳ từ cái buồng lọc và  chứa dầu bơm. Nếu được yêu cầu trước khi được phun vào. Hệ thống bôi trơn tốc độ vận hành liên tục ở át suất vào cao, so đó các bơm sử dụng kiểu đa năng trong hầu hết các ứng dụng chân không thô.

Ứng dụng:

-    Công nghệ xe hơi

-    Công nghệ thực phẩm

-    Công nghệ nung

-    Công nghệ laser

-    Luyện kim

-    Công nghệ năng lượng, lưu trữ năng lượng

-    Mô phỏng không gian

-    Phủ màng chân không0

3.    Bơm nén khô

Bơm cuộn SC D

Ứng dụng:

 -    Hàn điện

-    Công nghệ laser

-    Hệ thống kiểm tra rò rỉ

-    Máy gia tốc

-    Các thiết bị phân tích bề mặt

-    Kính hiển vi điện tử quét

-    Khóa tải

-    Kính quang phổ

-    Chế tạo đèn

-    Như là hệ thống bơm backing cho hệ thống bơm tua bin phân tử

Bơm piton EcoDry M

Ứng dụng:

-    Các ứng dụng trong y khoa

-    Các buồng khóa tải

-    Truyền dẫn

-    Khối phổ

-    Kính hiển vi điện tử

-    Công nghệ ánh sang

-    Lớp phủ màng mỏng film

-    Đông khô

-    Bơm chân không sơ cấp cho hệ thống bơm cao áp khô

4.    Bơm màng chân không DIVAC

Ứng dụng:

Bơm phòng thí nghiệm

-    Cách lọc chân không

-    Sự chưng cất chân không

-    Sấy chân không

-    Các khí chiết và di chuyển

-    Trong máy cô quay

-    Sấy định hình

-    Sự tiệt trùng hơi nước

Các bơm backing

-    Bơm backing cho bơm tua bin phân tử lớn

-    Khối phổ

-    Công nghệ y khoa

-    Công nghệ phân tích

-    Các ứng dụng chân không trung bình và thất

5.    Bơm cuộn Screwline

Bơm screw nén khô ứng dụng trong các ngành công nghiệp

Nguyên lý hoạt động:

-  Bơm chân không screwline là các bơm nén khô. Sự vận hành của bơm dựa trê nguyên lý đinh ốc. buồng bơm của bơm là khuôn bằng hai  rotor dịch chuyển đồng bộ. Tại thời điểm các rotor quay chiều đối nhau.

Ứng dụng:

-    Công nghiệp nung luyện

-    Công nghệ phủ màng

-    Các buồn khóa tải

-    Các hệ thống luyện kim

-    Các hệ thống đóng gói

-    Xử lý sấy

-    Khử hơi độc

-    Nghiên cứu và phát triển

-    Chế tạo bong đèn

-    Công nghệ tự động

-    Công nghệ đóng gói

-    Mô phỏng không gian

-    Công ghệ điện

6.    E & DK

Bơm trục, một cấp và hai cấp, dầu làm kín; 200 – 250 m3/h

Ứng dụng:

-    Hóa học, luyện kim và xử lý chân không điện tử

-    Khử khí và xử lý sấy khô trong các hệ thống thí nghiệm và trong các phòng khô, sự đẩy ra,

7.    RUVAC bơm chân không Roots

Một cấp; 250 – 13000 m3/h

Nguyên lý hoạt động:

-    Các bơm chân không  Root, chúng còn gọi là bơm quạt gió, là các loại bơm miệng hút bằng cánh quạt xoay. Nơi hai hình bánh xe quay và đẩy đối xứng trực tiếp trong vỏ bơm.

-    Các bơm chân không Root sẽ vận hành ở các tốc độ cao. Do đó ở một tốc độ bơm cao chỉ đạt được từ các bơm nhỏ.

-    Áp suất khác nhau và số truyền nén giữa đầu vào và đầu gia được giới hạn trong các bơm chân không Root.

Ứng dụng:

-    Chế tạo bán dẫn

-    Phủ màng chân không

-    Nghiên cứu tỉ lệ rộng

-    Hóa / dươc

-    Luyện kim / nung chảy

-    Chế tạo bóng đèn

-    Công nghệ laser

-    Đóng gói

-    Đông khô

-    Hệ thống kiểm tra rò rỉ

-    Công nghệ điện

-    Khí tinh khiết cao / Chu kỳ đông khép kín

-    Công nghệ máy

-    Công nghiệp tự động

8.    RUTA

Hệ thống bơm chân không

Ứng dụng:

-    Các lĩnh vực đặc biệt cho hệ thống bơm RUTA là trong công nghiệp, nghiên cứu và hóa học. Xử lý cho các sản phẩm kim loại và xử lý sấy khô, khử khí, xử lý nhiệt, các lớp trong các vùng của chế tạo chất bán dẫn tốt như tinh chế. Các hệ thống bơm RUTA  cũng sử dụng như là các thiết bị bơm ngược cho các hệ thống chân không cao áp trong sự kết hợp với các bơm khuyếch tán. Các bơm tua bin phân tử và các bơm làm lạnh.

9.      Bơm tuốc bin phân tử

35 – 3200 l/s

Nguyên lý hoạt động:

- Bơm tua bin phân tử là một tua bin với các cánh quạt. Bằng động lượng truyền từ các cánh quạt rotor xoay nhanh để các phân tử khí, chúng ban đầu chuyển động không có hướng thành chuyển động có hướng.

Ứng dụng:

-    Sử dụng bơm tua bin phân tử trong các thiết bị phân tích: tất cả các phưong pháp nghiên cứu cho khí, chất lỏng và thể plasma như GC-MS. LC-MS và ICP-MS-rely trên các khối phổ và đây là lý do yêu cầu các điều kiện chân không cao. Hơn nữa trong các kính hiển vi điện tử và nhiều các thiết bị phân tích bề mặt sản xuất của một chân không cao áp là tinh chất.

-    Sử dụng các bơm tua  bin phân tử trong vùng xử lý chất bán dẫn: Trong công nghiệp chất bán dẫn các bơm phân tử được sử dụng xử lý gắn liền các công đoạn

   Bản khắc axít

   Sputtering

   Sự trồng Ion

   CVD

   In thạch bản

   Trong các công đoạn ứng dụng bơm các khí tự do

-    Sử dụng các bơm tua binphân tử trong vùng các hệ thống lớp phủ

-    Nghiên cứu và phát triển

10.     PT, CS

Hệ thống bơm tuốc bin phân tử; 30 – 400 l/s; Hệ thống hiệu chuẩn

Ứng dụng:

-    Kính quang phổ

-    Sản xuất bóng đèn

-    Hệ thống hướng dẫn đòn cân bắng

-    Cân tiểu li

-    Vật lý bề mặt

-    Hệ thống bơm thí nghiệm

-    Sự sản xuất của các khí laser

11.     DIP

Bơm khuyếch tán dầu; 3000 – 50000 l/s; Các loại dầu, các loại màng ngăn, các phụ kiện kèm theo,

Ứng dụng:

-    Các bơm khuyếch tán dầu từ DIP được sử dụng trong các hệ thống phủ màng, tan chảy chân không, các hệ thống sấy tốt trong nung chân không của luyện kim.

12.   Bơm lạnh và đông lạnh

13. Các thiết bị và  cần thiết và dự trữ

14.  Các van chân không

Van cơ khí

Van tự động

Các van đặc biệt

Các van cổng

15.  Các ống và ống nối chân không cao áp

      Các khớp nối, van và các thiết bị dự trự

16. Các máy đo áp suất tổng hợp

      Các thiết bị điều khiển và các loại máy đo chân không

      10-12 – 2000 mbar

      Dịch vụ hiệu chuẩn máy

17. Thiết bị kiểm tra độ rò rỉ

      Các máy đo độ rò rỉ heli

18. TST S và D

19. UNIVEX

      Chân không cao

      Hệ thống thử nghiệm

      UNIVEX 300, UNIVEX 350, UNIVEX 450, UNIVEX 450 B

      Các thiết bị đặc biệt